Pulse Frequency Dependence of a-SiCN Diaphragm for Environmental Cell Fabricated by Magnetic-Field-Assisted and Pulsed-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
Pulse Frequency Dependence of a-SiCN Diaphragm for Environmental Cell Fabricated by Magnetic-Field-Assisted and Pulsed-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
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磁场辅助和脉冲等离子体增强化学气相沉积法制造的环境电池 a-SiCN 隔膜的脉冲频率依赖性
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Tadahiro KAWASAKI
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masanori MURANO;Takaomi MATSUTANI;and Tadahiro KAWASAKI
