イオン注入による半導体微細セル構造の自己組織化的形成

イオン注入による半導体微細セル構造の自己組織化的形成
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离子注入自组织形成半导体微电池结构

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
まてりあ 43巻12号
影响因子:
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通讯作者:
谷脇雅文
谷脇雅文
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
新田紀子;谷脇雅文

文献摘要

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