触媒表面基準エッチング法の原理と加工特性
触媒表面基準エッチング法の原理と加工特性
复制标题
催化剂表面刻蚀法原理及加工特点
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山内 和人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Takahashi;P. Podbevsek;J. Plavec;B. H. Kim;N. Sugimoto;山内 和人
