Y.Kawai: "ECR Plasma CVD Using a Slotted Lisitano Coil" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.29. 2487-2490 (1990)
Y.Kawai: "ECR Plasma CVD Using a Slotted Lisitano Coil" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.29. 2487-2490 (1990)
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Y.Kawai：“使用开槽 Lisitano 线圈的 ECR 等离子体 CVD”Jpn.J.Appl.Phys.Vol.29。
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