単一イオン注入装置における静電レンズの比較
単一イオン注入装置における静電レンズの比較
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单离子注入机中静电透镜的比较
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
斎藤勇一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石井保行;大久保 猛;宮脇信正;鳴海一雅;斎藤勇一
