保井秀彦, 山本晃生, 西嶋隆, 樋口俊郎: "真空環境用静電リニアモータの開発"精密工学会誌. 69-5. 665-670 (2003)
保井秀彦, 山本晃生, 西嶋隆, 樋口俊郎: "真空環境用静電リニアモータの開発"精密工学会誌. 69-5. 665-670 (2003)
复制标题
Hidehiko Yasui、Akio Yamamoto、Takashi Nishijima、Toshiro Higuchi：“真空环境下的静电直线电机的开发”日本精密工程学会杂志 69-5（2003 年）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
