強誘電体デバイスにおける薄膜プロセスの化学
強誘電体デバイスにおける薄膜プロセスの化学
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铁电器件中薄膜工艺的化学
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋竜太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Subash Sharma;Lin Wei Ming;Shinsuke Ozeki;Takumi Yoshida;Yazid Yaakob;Mohd Zamri Mohd Yusop;Mohamad Saufi Rosmi;Masaki Tanemura;高橋竜太
