レーザー励起光電子顕微鏡を用いたHfO2系強誘電体キャパシタの絶縁破壊に関する評価
レーザー励起光電子顕微鏡を用いたHfO2系強誘電体キャパシタの絶縁破壊に関する評価
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使用激光激发光电子显微镜评估 HfO2 基铁电电容器的介电击穿
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
糸矢祐喜，藤原弘和，Bareille Cedric，辛埴，谷内敏之，小林正治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yamaguchi Shingi;Watanabe Kentaroh;Minegishi Tsutomu;Sugiyama Masakazu;Natsumi Morita;糸矢祐喜，藤原弘和，Bareille Cedric，辛埴，谷内敏之，小林正治
