M.Y.Liao: "Crystallographic structure and composition of vanadium nitride films deposited by direct sputtering of a compound target"Journal of Vacuum Science and Technology A. 22・1. 146-150 (2004)
M.Y.Liao: "Crystallographic structure and composition of vanadium nitride films deposited by direct sputtering of a compound target"Journal of Vacuum Science and Technology A. 22・1. 146-150 (2004)
复制标题
M.Y.Liao：“复合靶材直接溅射沉积的氮化钒薄膜的晶体结构和成分”真空科学技术杂志A. 146-150 (2004)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
