Effect of Crystallinity-damage Recovery on Mechanical Properties of Ga-implanted Sub-100nm Si Nanowires
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复制标题
结晶损伤恢复对掺镓亚 100 nm 硅纳米线机械性能的影响
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Takahiro Namazu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tatsuya Fujii;Takahiro Kozeki;Shozo Inoue;and Takahiro Namazu
