Effect of Intermitted RIE Etching on the Beta-PVDF Film Micro Patterning
Effect of Intermitted RIE Etching on the Beta-PVDF Film Micro Patterning
复制标题
间歇 RIE 蚀刻对 Beta-PVDF 薄膜微图案化的影响
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shigeki Tsuchitani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sugii Ryota;Hirofumi Miki;Shigeki Tsuchitani
