繰り返し電界印加によるMEMS用Pb(Zr, Ti)O3膜の特性評価
繰り返し電界印加によるMEMS用Pb(Zr, Ti)O3膜の特性評価
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通过重复施加电场评估MEMS用Pb(Zr,Ti)O3薄膜的特性
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
舟窪浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
和田亜由美;江原祥隆;安井伸太郎;中島光雅;及川貴弘;小林健;森岡仁;舟窪浩
