クラスター照射による高硬度DLC薄膜生成のMDシミュレーション
クラスター照射による高硬度DLC薄膜生成のMDシミュレーション
复制标题
簇辐照形成高硬度DLC薄膜的MD模拟
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
山口康隆
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Koay Keat;山口康隆