T.Yamauchi and H.Sugai: "High-density etching plasma excitation by slot type and coaxial line type microwave antennas"Journal of Vaccum Science and Technology. A20(2). 503-520 (2002)
T.Yamauchi and H.Sugai: "High-density etching plasma excitation by slot type and coaxial line type microwave antennas"Journal of Vaccum Science and Technology. A20(2). 503-520 (2002)
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T.Yamauchi和H.Sugai：“缝隙型和同轴线型微波天线的高密度蚀刻等离子体激发”真空科学技术杂志。
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