Si:SiO_2共スパッタ膜の発光起源の-検証とデバイス応用の検討

Si:SiO_2共スパッタ膜の発光起源の-検証とデバイス応用の検討
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Si:SiO_2共溅射薄膜发光起源的验证及器件应用的考虑

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
電子情報通信学会技術研究報告 vol. 106,no. 347
影响因子:
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通讯作者:
花泉修
花泉修
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
三浦健太;松本敏明;武井修;加藤裕司;種村豪;星野ひとみ;花泉修

文献摘要

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