スパッタ法によるMgO薄膜電極の二次電子放出に及ぼす基板温度の影響

スパッタ法によるMgO薄膜電極の二次電子放出に及ぼす基板温度の影響
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衬底温度对溅射法MgO薄膜电极二次电子发射的影响

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
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通讯作者:
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
浪江 正宗;他

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