CNTを用いたSTMによる低抵抗Siのナノ加工と原理の解明
CNTを用いたSTMによる低抵抗Siのナノ加工と原理の解明
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利用碳纳米管通过STM技术纳米制造低电阻硅并阐明其原理
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩田博之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
神戸健吾;松室昭仁;高木誠;岩田博之
