Shape control of AlGaAs selective oxidation by intermixing method
Shape control of AlGaAs selective oxidation by intermixing method
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混合法选择氧化AlGaAs的形状控制
DOI：
10.7567/jjap.55.110303
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tetsu Gi and Tomoyuki Miyamoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岩田 孝太;山崎 詩郎;Pingo Mutombo;Prokop Hapala;Martin Ondracek;Pavel Jelinek;杉本 宜昭;Keiichi Edagawa;Tetsu Gi and Tomoyuki Miyamoto
