エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第5報)-ナノ光造形装置の試作と基本機能の検証-
エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第5報)-ナノ光造形装置の試作と基本機能の検証-
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利用倏逝光的纳米立体光刻技术研究(第5次报告)-纳米立体光刻装置的试制及基本功能验证-
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
高増潔
中科院分区:
文献类型:
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作者:
梶原優介;武内徹;高橋哲;高増潔