エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第5報)-ナノ光造形装置の試作と基本機能の検証-

エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第5報)-ナノ光造形装置の試作と基本機能の検証-
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利用倏逝光的纳米立体光刻技术研究(第5次报告)-纳米立体光刻装置的试制及基本功能验证-

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 京都
影响因子:
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通讯作者:
高増潔
高増潔
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
梶原優介;武内徹;高橋哲;高増潔

文献摘要

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