輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第1報) : 欠陥検出原理とその検証実験
輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第1報) : 欠陥検出原理とその検証実験
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环形倏逝照明电路图案硅片表面异物缺陷检测方法研究（第一篇报告）：缺陷检测原理及其验证实验
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉岡淑江
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Han;D.;R.Ono and T.Oda;T.Yamato et al.;吉岡淑江
