超臨界二酸化炭素流体処理による酸化チタン薄膜の合成

超臨界二酸化炭素流体処理による酸化チタン薄膜の合成
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超临界二氧化碳流体处理合成氧化钛薄膜

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
幸田清一郎
幸田清一郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
浅井悠介;内田寛;幸田清一郎

文献摘要

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