Z.J.Radzimski: "Directional Copper Deposition Using DC Magnetron Sputtering"J.Vac.Sci.& Tec nol.. B16. 1102-1106 (1998)
Z.J.Radzimski: "Directional Copper Deposition Using DC Magnetron Sputtering"J.Vac.Sci.& Tec nol.. B16. 1102-1106 (1998)
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Z.J.Radzimski：“使用直流磁控管溅射进行定向铜沉积”J.Vac.Sci。
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