高イオン注入試料における原子分布
高イオン注入試料における原子分布
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高度离子注入样品中的原子分布
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
坂口 勲
中科院分区:
文献类型:
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作者:
菱田 俊一;坂口 勲