基于电容式MEMS器件的静电斥力驱动研究
基于电容式MEMS器件的静电斥力驱动研究
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DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
李刚
中科院分区：
文献类型：
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作者：
李朋伟;张文栋;胡杰;李刚
