Y.Makishima, K.Hashimoto and M.Yamaguchi: "Thin-Film Bulk Acoustic Resonators Employing ZnO/Pyrex-Glass Composite Diaphragm Structure" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.32, No.5B. 2998-3000 (1994)
Y.Makishima, K.Hashimoto and M.Yamaguchi: "Thin-Film Bulk Acoustic Resonators Employing ZnO/Pyrex-Glass Composite Diaphragm Structure" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.32, No.5B. 2998-3000 (1994)
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Y.Makishima、K.Hashimoto 和 M.Yamaguchi:“采用 ZnO/Pyrex 玻璃复合隔膜结构的薄膜体声学谐振器”Jpn.J.Appl.Phys.Vol.32,No.5B。
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