2. Y.Ohtsu, G.Tochitani, H.Fujita, J.Zhang, Y.Setsuhara and S.Miyake: "Measurements of Ion Energy Distribution Functions in a Radical Frequency Plasma Excited with an m=0 Mode Helical Antenna and Thin Film Preparation"Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.36. 4620-4624 (
2. Y.Ohtsu, G.Tochitani, H.Fujita, J.Zhang, Y.Setsuhara and S.Miyake: "Measurements of Ion Energy Distribution Functions in a Radical Frequency Plasma Excited with an m=0 Mode Helical Antenna and Thin Film Preparation"Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.36. 4620-4624 (
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2. Y.Ohtsu、G.Tochitani、H.Fujita、J.Zhang、Y.Setsuhara 和 S.Miyake：“用 m=0 模式螺旋天线和薄膜激发的自由基频率等离子体中离子能量分布函数的测量”
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