Futoshi Utsuno, Yuji Mori, Atsushi Hayashi, Itaru Yasui: "Sputtering rates of two kinds of Mo-Si targets" 1993 Pac Rim Meeting Abstracts. 171. (1993)

Futoshi Utsuno, Yuji Mori, Atsushi Hayashi, Itaru Yasui: "Sputtering rates of two kinds of Mo-Si targets" 1993 Pac Rim Meeting Abstracts. 171. (1993)
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Futoshi Utsuno、Yuji Mori、Atsushi Hayashi、Itaru Yasui:“两种 Mo-Si 靶材的溅射率”1993 年 Pac Rim 会议摘要。

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