マイクロ・ナノ領域でのプラズマの発生法-極限への挑戦

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微纳米领域的等离子体生成方法——挑战极限

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
静電気学会誌 29・3
影响因子:
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通讯作者:
金 載浩
金 載浩
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
寺嶋和夫;笘居高明;金 載浩

文献摘要

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