コンビナトリアルスパッタ成膜装置とZnO膜の摩擦特性制御,後藤真宏,笠原章,土佐正弘
コンビナトリアルスパッタ成膜装置とZnO膜の摩擦特性制御,後藤真宏,笠原章,土佐正弘
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组合溅射沉积设备及 ZnO 薄膜摩擦性能的控制，Masahiro Goto，Akira Kasahara，Masahiro Tosa
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
後藤真宏,笠原章,土佐正弘
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小林隆志;佐藤広嗣;鈴木洋輔;辻裕一;後藤真宏,笠原章,土佐正弘
