K. Yamashita, H. Katata, M. Okuyama, H. Miyoshi, G. Kato, S. Aoyagi, Y. Suzuki: "High-Directivity Array of Ultrasonic Micro Sensor Using PZT Thin Film on Si Diaphragm"International Conference on Solid State Sensors and Actuators (Transducers 01/Euro Senso
K. Yamashita, H. Katata, M. Okuyama, H. Miyoshi, G. Kato, S. Aoyagi, Y. Suzuki: "High-Directivity Array of Ultrasonic Micro Sensor Using PZT Thin Film on Si Diaphragm"International Conference on Solid State Sensors and Actuators (Transducers 01/Euro Senso
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K. Yamashita、H. Katata、M. Okuyama、H. Miyoshi、G. Kato、S. Aoyagi、Y. Suzuki：“利用硅膜片上 PZT 薄膜的超声波微传感器高方向性阵列”国际固态会议
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