顕微ラマン分光法による多層電極付n形4H-SiC結晶の高温状態における熱応力解析に関する研究
顕微ラマン分光法による多層電極付n形4H-SiC結晶の高温状態における熱応力解析に関する研究
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多层电极n型4H-SiC晶体高温状态下的显微拉曼光谱热应力分析研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
須田 潤
中科院分区：
文献类型：
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作者：
近藤 聖也;須田 潤
