Kazuhiro Yokoyama: "Flatness Change of Vacuum Chuck Surface by Elastic and Thermal Deformations" Journal of the Japan Society of Precision Engineering, contributed.
Kazuhiro Yokoyama: "Flatness Change of Vacuum Chuck Surface by Elastic and Thermal Deformations" Journal of the Japan Society of Precision Engineering, contributed.
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Kazuhiro Yokoyama：“弹性和热变形引起的真空吸盘表面的平面度变化”，日本精密工程学会杂志，撰稿。
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