Phenomenological Theory of Explosive Solid Phase Crystallization of Amorphous Silicon. II. Dynamical Processes
Phenomenological Theory of Explosive Solid Phase Crystallization of Amorphous Silicon. II. Dynamical Processes
复制标题
非晶硅爆炸固相结晶唯象理论。
DOI:
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发表时间:
1986
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
H. Geiler
中科院分区:
文献类型:
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作者:
K. Heinig;H. Geiler
The autocatalytic or “explosive” solid-phase crystallization is due to the feed back of the liberated latent heat to the kinetics of the phase transition. The dynamics of the explosive solid-phase nucleation (ESPN) is studied by use of a model containing phenomenologically the coupling between matter and energy transport in crystallizing amorphous layers of silicon on insulators. The effect of lateral moving explosive crystallization fronts (wave front solution) discussed in part I of this paper is investigated by solving the coupled reaction-diffusion equations numerically. The evolution of the wave fronts (ignition and dying out) is discussed in dependence on the conditions of the initial temperature distribution, the heat losses and the competitive nucleation processes in the layer. Optimum conditions of ignition and spreading are found.
Die autokatalytische oder „explosive” Festphasenkristallisation ist zuruckzufuhren auf die Ruckkopplung freigesetzter latenter Warme des Phasenubergangs auf dessen Kinetik. Die Dynamik der explosiven Festphasennukleation (ESPN) wird unter Verwendung eines Modells, das die Kopplung zwischen Masse- und Energietransport in kristallisierenden amorphen Siliziumschichten phanomenologisch enthalt, untersucht. Der Effekt sich lateral ausbreitender explosiver Kristalli-sationsfronten, der im Teil I dieser Arbeit erortert wurde, erfahrt eine voll zeitabhangige Behandlung durch numerische Losung der gekoppelten Reaktions-Diffusionsgleichungen. Die Entwicklung der Wellenfronten (Zundung und Verloschen) wird in Abhangigkeit von den Bedingungen der Anfangstemperaturverteilung, den Warmeverlusten und der Konkurrenznukleation in der Schicht diskutiert. Optimale Zund- und Ausbreitungsbedingungen werden gefunden.