Hui You et al.: "Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication"Journal of Micromechatronics. JMM01-JS001(To be published). (2003)
Hui You et al.: "Deep X-ray Exposure System with Multistage for 3-D Microfabrication"Journal of Micromechatronics. JMM01-JS001(To be published). (2003)
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尤慧等人：“用于3D微加工的多级深度X射线曝光系统”微机电一体化杂志。
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