Thin film filters for an EUV multilayer mirror optics with a laser produced plasma light source
Thin film filters for an EUV multilayer mirror optics with a laser produced plasma light source
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用于具有激光产生等离子光源的 EUV 多层镜光学器件的薄膜滤光片
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tetsuo Harada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tamio Endo;Kouji Yoshii;Takahisa Sakurada;Michi Ogata;Ajay K. Sarkar;Masanori Okada;Hidetaka Nakashima;Tetsuo Harada
