Facilitating Complex Thin Film Deposition by Using Magnetron Sputtering: A Review
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DOI：
10.1007/s11837-022-05294-0
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
2.6
通讯作者：
Yan Shi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jie Li;Guang-Kun Ren;Jiahui Chen;Xuxuan Chen;Wenjie Wu;Yinke Liu;Xiaohong Chen;Jiangfeng Song;Yuan-Hua Lin;Yan Shi
