小型熱ナノインプリント装置用マイクロヒータの開発
小型熱ナノインプリント装置用マイクロヒータの開発
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小型热纳米压印装置微型加热器的研制
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
庄司大
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Yamamoto;S. Watanabe;K. Komada;D. Sakaguchi;H. Ueki and M. Ishida;K. Komada;K. Komada;K. Komada;庄司大
