極淺接合形成のためのイオン注入によるGeアモルファス化プロセス
極淺接合形成のためのイオン注入によるGeアモルファス化プロセス
复制标题
通过离子注入进行 Ge 非晶化工艺以形成极性结
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
芝原健太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長田光生;芝原健太郎
