Minimization of amorphous layer in Ar+ ion milling for UHR-EM.

Minimization of amorphous layer in Ar+ ion milling for UHR-EM.
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UHR-EM 氩离子铣削中非晶层的最小化。

DOI:
--
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
2.2
通讯作者:
R. Wepf
R. Wepf
中科院分区:
工程技术3区
文献类型:
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作者:
M. Süess;E. Mueller;R. Wepf

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