単一粒子ナノ加工法を用いた1次元ナノアクチュエータ群の創成
単一粒子ナノ加工法を用いた1次元ナノアクチュエータ群の創成
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使用单粒子纳米加工方法创建一维纳米执行器组
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大道正明・丸井裕美・佃 諭志・杉本雅樹・関 修平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
富永大輝;高田慎一;山田武;松浦直人;柴田薫;大道正明・丸井裕美・佃 諭志・杉本雅樹・関 修平
