Wafer-Level 3D Integration Technology Using Self-Assembly
Wafer-Level 3D Integration Technology Using Self-Assembly
复制标题
使用自组装的晶圆级 3D 集成技术
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and Mitsumasa Koyanagi
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Takafumi Fukushima;Kang-Wook Lee;Tetsu Tanaka;and Mitsumasa Koyanagi