Low-aberration ExB deflector optics for scanning electron microscopy
Low-aberration ExB deflector optics for scanning electron microscopy
复制标题
用于扫描电子显微镜的低像差 ExB 偏转光学器件
DOI：
10.1093/jmicro/dfad001
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
1.8
通讯作者：
Yamasaki Jun
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Enyama Momoyo;Nishi Ryuji;Ito Hiroyuki;Yamasaki Jun
