高アスペクトホールエッチングにおけるストライエーションの形成メカニズム
高アスペクトホールエッチングにおけるストライエーションの形成メカニズム
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高深宽孔刻蚀条纹形成机理
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
堀 勝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大村 光広;橋本 惇一;足立 昂拓;近藤 祐介;石川 勝朗;阿部 淳子;酒井 伊都子;林 久貴;関根 誠;堀 勝
