R.Kobayashi,K.Fujii and F.Hasegawa: "Etiching of GaAs and AlGaAs by H^* Radical Produced by a Tungsten Filament." 1991(18th)Int.symp.GaAs and Related Compounds.(Inst.of Phys.,Conf.Ser.No120,Bristol,1992). 120. 43-48 (1992)
R.Kobayashi,K.Fujii and F.Hasegawa: "Etiching of GaAs and AlGaAs by H^* Radical Produced by a Tungsten Filament." 1991(18th)Int.symp.GaAs and Related Compounds.(Inst.of Phys.,Conf.Ser.No120,Bristol,1992). 120. 43-48 (1992)
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R.Kobayashi、K.Fujii 和 F.Hasekawa：“通过钨丝产生的 H^* 自由基蚀刻 GaAs 和 AlGaAs”。
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