Patterning of Silicon by Site-Selective Etching and Metal Deposition throueh Colloidal Crystal Templating(Invited lecture)
Patterning of Silicon by Site-Selective Etching and Metal Deposition throueh Colloidal Crystal Templating(Invited lecture)
复制标题
通过胶体晶体模板进行位点选择性蚀刻和金属沉积的硅图案化（特邀报告）
DOI：
--
复制
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H. Asoh
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Ono;F. Arai;S. Sakamoto;H. Asoh
