Study of effect of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS plasma
Study of effect of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS plasma
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调幅放电对TEOS等离子体中纳米颗粒生长影响的研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Koga
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Shiratani;K. Kamataki;K. Abe;A. Yamamoto;I. Nagao;M. Otaka;D. Yamashita;N. Itagaki;T. Okumura;K. Koga
