ECRイオンビームスパッタ法によるPt/C硬X線多層膜の成膜と評価
ECRイオンビームスパッタ法によるPt/C硬X線多層膜の成膜と評価
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ECR离子束溅射法沉积Pt/C硬X射线多层膜并评价
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
神谷 佳裕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Ito;et. al.;神谷 佳裕
