三極スパッタを用いたプラズマ電位制御における電極配置の影響
三極スパッタを用いたプラズマ電位制御における電極配置の影響
复制标题
电极排列对三极管溅射等离子体电位控制的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
馬場 茂
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
馬橋琢哉;中野武雄;馬場 茂
