Electron cyclotron resonance multicharged ion source directly excited in a circular TE_<01>, mode cavity resonator

Electron cyclotron resonance multicharged ion source directly excited in a circular TE_<01>, mode cavity resonator
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在圆形 TE_<01> 模腔谐振器中直接激发的电子回旋共振多电荷离子源

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Ion Implantation Technology-2004 1(in press)
影响因子:
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通讯作者:
Shigeyuki
Shigeyuki
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Kato;Yushi;Furuki;Hideyuki;Asaji;Toyohisa;Sasaki;Hiroshi;Ishii;Shigeyuki

文献摘要

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