A Three Laser Interferometers and One Autocollimator System for Measuring the Yaw and Straightness Errors of a X-Y Stage on High Precision CMM
A Three Laser Interferometers and One Autocollimator System for Measuring the Yaw and Straightness Errors of a X-Y Stage on High Precision CMM
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一种用于测量高精度坐标测量机上 X-Y 平台偏航和直线度误差的三激光干涉仪和一个自准直仪系统
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Toshiyuki Takatsuji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ping Yang;Shusaku Shibata;Tomohiko Takamura;Satoru Takahashi;Kiyoshi Takamasu;Osamu Sato;Sonko Osawa;Toshiyuki Takatsuji
